Quantensensorik für Halbleiterfehleranalyse
Industriegespräch München - Kooperationspartner: LMU Center for NanoScience
- Date:
- Tu, 08.07.2025 19:00 – Tu, 08.07.2025 20:00
- Speaker:
- Dr. Fleming Bruckmaier, QuantumDiamonds GmbH
- Address:
- LMU München
Department für Geo- und Umweltwissenschaften, Richard-Wagner-Straße 10, 80333 München
Seminarraum D 105, 1.Stock
Zugang auch über die Luisenstr. 37 möglich
- Registration required
- Language:
- Deutsch
- Contact person:
- Dr. Michael Alexander / Dr. Fabian Ziegler,
Description
Die zunehmende Komplexität moderner Halbleitertechnologien stellt bestehende Methoden der Fehleranalyse vor neue Herausforderungen. Insbesondere bei neuartigen Fertigungsmethoden wie "Advanced Packaging" und "Backside Power Delivery" stoßen klassische Messverfahren an physikalische und technologische Grenzen. Quantensensorik auf Basis von Stickstoff-Fehlstellen-Zentren (NV-Zentren) in Diamant ermöglichen eine elegante Lösung des Problems: erstmals können zerstörungsfreie, hochauflösende Messungen magnetischer Felder und elektrischer Ströme durchgeführt werden, welche mit den neuen Fertigungstechniken kompatibel sind. Nach einer Einführung in die Technologie, werden anhand einiger Beispiele die Möglichkeiten der neuartigen Messtechnik dargestellt.
Diese Veranstaltung findet im Rahmen des Quantenjahrs 2025 statt. Mehr Infos unter www.quantum2025.de