HYBRID: Hochdynamische & hochgenaue 3D-Positionierung von Sensoren

Hochdynamische & hochgenaue 3D-Positionierung von Sensoren Hochdynamische & hochgenaue 3D-Positionierung von Sensoren: Wie man mit einem mechatronischen Ansatz beide Anforderungen bei Positioniersystemen in High-End Anwendungen gleichzeitig erfüllen kann.

Die Anforderungen an Prüf- und Messmaschinen für die Halbleiterindustrie und für die Werkstoffanalytik steigen kontinuierlich. Sowohl Produktivität als auch Präzision sollen stetig gesteigert werden, um dem wachsenden Bedarf an neuen Produkten mit kleineren Strukturabmessungen gerecht zu werden. Durch einen mechatronischen Ansatz können diese bisher teilweise im Widerspruch zueinanderstehenden Anforderungen erfüllt werden. Das Zusammenspiel von neuen Werkstoffen für die Maschinenmechanik, optimierter Linearmotortechnologie, hochauflösenden magnetischen Messsystemen und schnellen Steuerungen ermöglicht Genauigkeiten im sub-Mikrometer-Bereich bei linearen Geschwindigkeiten von mehreren Hundert Meter/Minute.

Im Vortrag wird anhand von Praxisbeispielen vorgestellt, worauf es bei der Konzeption, Entwicklung und Integration der o.g. Teiltechnologien ankommt, und der Zuhörer erfährt, worauf er bei der Eigenentwicklung oder Beschaffung von präzisen hochdynamischen Positioniersystemen achten soll.