Berliner Industriegespräch: Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft

Extreme UV Lichtquellen für die Mikrolithographie der Zukunft

Discussion
Date:
We, 16.04.2008 18:30  –   We, 16.04.2008 19:30
Sprecher:
Dr. Günther Derra, Principal Scientist, Philips Technologie GmbH, Aachen
Adresse:
Magnus-Haus Berlin
Am Kupfergraben 7, 10117 Berlin, Germany

Language:
Deutsch
Contact person:
Dr. Dietrich Morawski,
DPG Association:
Working Group on Industry and Business (AIW)  

Description

Leitung: Dr. Dietrich Morawski, DPG-AIW