Themen der Tagung des Fachausschusses Vakuumphysik und Vakuumtechnik
- Trockene Vorpumpen
- Physik und Technik hochverdichtender Turbomolekularpumpen
- Partikelkontamination
- Vakuum grosser Beschleuniger
- Vakuummesstechnik
- Vakuummikroelektronik, Kaltkathoden
- Kalibrierung von Vakuummessgeräten
- Partialdruckmessung mit Quadrupolmassenspektrometern und optischen Verfahren
- Physik und Messung der Ausgasungen von Materialien
- Ad- und Desorption, Photodesorption
- Beschichtungstechniken
- Flachbildschirme
- Vakuumisolationspaneele
- Lithographieverfahren
- Waferproduktion
- Fokussierte Ionenstrahlen
- Weltraumsimulation
- Gravitationswellendetektoren